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  • 产品名称:EUROPTICS欧光LensThick非接触式光学测厚仪40-1 UP

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高精度非接触式光学测厚仪 LensThick非接触式光学测厚仪
LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度,其测量原理为:测量激光照射到被测试材料上,经过每个表面反射后被收集,然后在...

LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度,其测量原理为:测量激光照射到被测试材料上,经过每个表面反射后被收集,然后在光学干涉仪上进行分析,光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”,它测量每个反射信号的长度差,以确定每一层的厚度和总厚度。

 

产品特点

*非接触式测量,不会造成元件表面损坏或变形

*用于高精度定位测量位置的可见光束

*可同时测量31层壁厚

*精度可达±0.1微米

*测量重复性达±0.02微米

*基于内部固有长度标准,实时显示测量数据

*测量结果可追溯至NIST标准

*测量物理厚度可达12微米(折射率1.5时)

*集成装置,操作简便,更无需专用PC

 

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