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  • 产品名称：Zolix 卓立汉光 SD15.x.C 动态压电扫描台

  • 产品型号：
  • 产品厂商：Zolix卓立汉光
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简单介绍：
Zolix 卓立汉光 SD15.x.C 动态压电扫描台
详情介绍：

zolix卓立汉光  SD15.x.C  动态压电扫描台

特点：

• X方向扫描运动15um,3 um

• 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm

• 闭环分辨率优于0.1nm

• 电容位置传感

• 高速运动响应

• 真空 (.HV)，高真空 (.UHV) 选件升级


亚纳米高动态压电扫描台选型表

型号

SD15.x.C

SD30.x.C

运动方向

X方向

底面尺寸×高度（mm）

62×40×13.5

80×40×13.5

主体材料

铝合金

自重（g）

250

350

运动行程（um）

15（闭环）

30 （闭环）

运动分辨率（nm）

0.1

0.2

运动可重复精度（nm）

2

4

线性误差

优于 0.035%

摇摆（urad）

2

俯仰（urad）

2

共振频率（kHz）

3.3

2.2

共振频率 (300g）（kHz）

1

0.625

刚性（N/um）

28

18

闭环传感器（闭环版本）

电容式

推荐使用温度

-20 ~ 80 °C


亚纳米高动态压电扫描台尺寸图





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